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上海添時科學儀器有限公司

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當前位置:上海添時科學儀器有限公司>>合肥科晶總代理>>新型設備>> TCVD--OTF-1200X-S2-5小型雙爐體滑動管式爐TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

小型雙爐體滑動管式爐TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號:TCVD--OTF-1200X-S2-5

品       牌:

廠商性質:代理商

所  在  地:上海市

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更新時間:2025-03-11 14:01:59瀏覽次數:2856次

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OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器Z高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現對樣品快速加熱,Z大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現對樣品快速加熱,大升溫速率為100/min.同時可選擇電動滑軌、質量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
 

技術參數

爐體結構

  • 兩個爐體在一個滑動軌道上,爐體高工作溫度1200℃
  • 每個爐體加熱區(qū)為200mm,恒溫區(qū)為60mm
  • 一個滑動軌道安裝在兩爐體底部,可手動推動爐體滑動
  • 儀器中配有不銹鋼密封法蘭

總功率

2.5KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, (需要20A的空氣開關)

高工作溫度

1200℃

連續(xù)工作溫度

1100℃

加熱&冷卻速率

  加熱速率:

 15°C/sec (RT - 150°C);

 10°C/sec (150°C - 250°C);

  7°C/sec (250°C - 350°C);

  4°C/sec (350°C - 500°C);

  3°C/sec (350°C - 550°C);

  2°C/sec (550°C - 650°C);
  1°C/sec (650°C - 800°C);
  0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷卻速率:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);

注意

大加熱和冷卻速率是通過爐體滑動來實現的,將爐體加熱到目標溫度,然后滑動爐體到樣品位置來實現快速加熱。對樣品加熱后,滑動爐體,使樣品暴露在加熱區(qū)外,來實現快速冷卻

 

加熱區(qū)長度

每個爐體的加熱區(qū)為200mm

恒溫區(qū)

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金

爐管

  • 高純石英管
  • 尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

溫度控制系統(tǒng)

  • 兩個爐體都采用PID方式來調節(jié)溫度,可設置30段升降溫程序。
  • 控溫儀表操作視頻
  • 設置有超溫和斷熱偶報警
  • 包括2個K型熱電偶(已安裝在爐體上)
  • 可選:可選擇控制模塊MTS-02,可使用電腦來控制爐體的升降溫
     (點擊圖片查看詳細資料)

真空法蘭

  • 儀器中包含一對不銹鋼密封法蘭,法蘭上安裝有機械壓力表
  • 可選購KF25接口的法蘭(提高抽氣速率),數顯真空計
     

滑軌長度

1200mm

真空度

  • 10E-5 torr(采用分子泵)
  • 10E-2 torr(采用機械泵)
  • 可在本公司選購真空泵
     

可選

  • 可選擇電動滑軌,更好的控制快速升降溫速率
  • 1-9通道質量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)
  • 100W-500W的射頻等離子源
  • 這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強的TCVD系統(tǒng)
      

尺寸

1500 x 380 x 620 mm(爐體+滑軌)

凈重

約80kg

質保期

一年質保期,終身維護(不包括爐管、密封圈和加熱元件)

質量認證

  • CE認證
  • 所有電器元件(輸入電壓>24V)都通過了UL/MET/CSA認證
  • 本公司保證此設備通過TUV(UL61010)或CSA認證(需額外出認證費用)
        

使用注意事項

  • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加安全
  • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM
  • 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

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