爐體結構

• 兩個爐體在一個滑動軌道上，爐體高工作溫度1200℃
• 每個爐體加熱區(qū)為200mm,恒溫區(qū)為60mm
• 一個滑動軌道安裝在兩爐體底部，可手動推動爐體滑動
• 儀器中配有不銹鋼密封法蘭

總功率

2.5KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, （需要20A的空氣開關）

高工作溫度

1200℃

連續(xù)工作溫度

1100℃

加熱&冷卻速率

加熱區(qū)長度

每個爐體的加熱區(qū)為200mm

恒溫區(qū)

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金

爐管

• 高純石英管
• 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL
  

溫度控制系統(tǒng)

• 兩個爐體都采用PID方式來調節(jié)溫度，可設置30段升降溫程序。
• 控溫儀表操作視頻
• 設置有超溫和斷熱偶報警
• 包括2個K型熱電偶（已安裝在爐體上）
• 可選:可選擇控制模塊MTS-02，可使用電腦來控制爐體的升降溫
   （點擊圖片查看詳細資料）

真空法蘭

• 儀器中包含一對不銹鋼密封法蘭，法蘭上安裝有機械壓力表
• 可選購KF25接口的法蘭（提高抽氣速率)，數顯真空計
   

滑軌長度

1200mm

真空度

• 10E-5 torr（采用分子泵）
• 10E-2 torr（采用機械泵）
• 可在本公司選購真空泵
   

可選

• 可選擇電動滑軌，更好的控制快速升降溫速率
• 1-9通道質量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)
• 100W-500W的射頻等離子源
• 這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強的TCVD系統(tǒng)
    

尺寸

1500 x 380 x 620 mm（爐體＋滑軌）

凈重

約80kg

質保期

一年質保期，終身維護（不包括爐管、密封圈和加熱元件）

質量認證

• CE認證
• 所有電器元件（輸入電壓>24V）都通過了UL/MET/CSA認證
• 本公司保證此設備通過TUV(UL61010）或CSA認證（需額外出認證費用）
      

使用注意事項

• 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加安全
• 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM
• 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)