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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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小型雙爐體滑動(dòng)管式爐TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):TCVD--OTF-1200X-S2-5

品       牌:

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

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更新時(shí)間:2025-03-11 14:01:59瀏覽次數(shù):2870次

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OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動(dòng)管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器Z高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個(gè)爐體可在滑軌上滑動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動(dòng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品快速加熱,Z大升溫速率為100℃/min.同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動(dòng)管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個(gè)爐體可在滑軌上滑動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動(dòng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品快速加熱,大升溫速率為100/min.同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
 

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

  • 兩個(gè)爐體在一個(gè)滑動(dòng)軌道上,爐體高工作溫度1200℃
  • 每個(gè)爐體加熱區(qū)為200mm,恒溫區(qū)為60mm
  • 一個(gè)滑動(dòng)軌道安裝在兩爐體底部,可手動(dòng)推動(dòng)爐體滑動(dòng)
  • 儀器中配有不銹鋼密封法蘭

總功率

2.5KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, (需要20A的空氣開關(guān))

高工作溫度

1200℃

連續(xù)工作溫度

1100℃

加熱&冷卻速率

  加熱速率:

 15°C/sec (RT - 150°C);

 10°C/sec (150°C - 250°C);

  7°C/sec (250°C - 350°C);

  4°C/sec (350°C - 500°C);

  3°C/sec (350°C - 550°C);

  2°C/sec (550°C - 650°C);
  1°C/sec (650°C - 800°C);
  0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷卻速率:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);

注意

大加熱和冷卻速率是通過爐體滑動(dòng)來實(shí)現(xiàn)的,將爐體加熱到目標(biāo)溫度,然后滑動(dòng)爐體到樣品位置來實(shí)現(xiàn)快速加熱。對(duì)樣品加熱后,滑動(dòng)爐體,使樣品暴露在加熱區(qū)外,來實(shí)現(xiàn)快速冷卻

 

加熱區(qū)長度

每個(gè)爐體的加熱區(qū)為200mm

恒溫區(qū)

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金

爐管

  • 高純石英管
  • 尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

溫度控制系統(tǒng)

  • 兩個(gè)爐體都采用PID方式來調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序。
  • 控溫儀表操作視頻
  • 設(shè)置有超溫和斷熱偶報(bào)警
  • 包括2個(gè)K型熱電偶(已安裝在爐體上)
  • 可選:可選擇控制模塊MTS-02,可使用電腦來控制爐體的升降溫
     (點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

真空法蘭

  • 儀器中包含一對(duì)不銹鋼密封法蘭,法蘭上安裝有機(jī)械壓力表
  • 可選購KF25接口的法蘭(提高抽氣速率),數(shù)顯真空計(jì)
     

滑軌長度

1200mm

真空度

  • 10E-5 torr(采用分子泵)
  • 10E-2 torr(采用機(jī)械泵)
  • 可在本公司選購真空泵
     

可選

  • 可選擇電動(dòng)滑軌,更好的控制快速升降溫速率
  • 1-9通道質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制的供氣系統(tǒng)
  • 100W-500W的射頻等離子源
  • 這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強(qiáng)的TCVD系統(tǒng)
      

尺寸

1500 x 380 x 620 mm(爐體+滑軌)

凈重

約80kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、密封圈和加熱元件)

質(zhì)量認(rèn)證

  • CE認(rèn)證
  • 所有電器元件(輸入電壓>24V)都通過了UL/MET/CSA認(rèn)證
  • 本公司保證此設(shè)備通過TUV(UL61010)或CSA認(rèn)證(需額外出認(rèn)證費(fèi)用)
        

使用注意事項(xiàng)

  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加安全
  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM
  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

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